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Aera質量流量控制器

FC-R7800CD質量流量控制器

產品分類:Aera質量流量控制器

產品介紹

現貨供應FC-R7800CD氣體流量計

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FC-R7800系列不僅能提供高精度流量控制。
采用金屬材質密封具備優異的低泄漏特性,可適用于絕大多數氣體控制應用。提供行業通用和AE獨特電氣信號可選方案,可方便對用戶使用的質量流量控制器(MFC)進行替換,操作簡單。

特點:

◆高精度

◆高信賴和可靠性

◆耐腐蝕設計

◆采用金屬密封材質

◆VCR、Swagelok互換的氣路接口

◆10SCCM-200SLM滿量程范圍

◆方便的互換性

◆高速應答***的統一性,目前世界上有大約7萬只在運行中的產品,內的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽?

◆方便的互換性

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技術參數:
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性能指標

FC-R7800CD/FC-R7800D系列

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FC-R7810CD/FC-R7810D系列

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FC-R7820CD/FC-R7820D系列

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滿量程范圍

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10Sccm-5Slm

N/O:6-20slm*

N/C:6-50slm**

35-200Slm

響應時間

滿流量的±2%范圍內,小于2秒

滿流量的±2%范圍內,小于3秒

精度

≤±1%滿量程

≤±2%滿量程

線性鍍

≤滿量程±0 5%

≤滿量程±0 5%?#1

≤滿量程±1%

重復性

????????????????????????? ≤滿量程±0.2%

泄漏率

??????????????????????????? 1X10E-11 Pa.m ?/sec

控制范圍

??????????????????????????滿流量的2%-5%? #2

壓差

49Kpa-275Kpa

?

69Kpa-275Kpa

98Kpa-275Kpa

147Kpa-275Kpa

?

正常工作壓

?????????????????????????? 490Kpa

?

進氣壓力

?????????????????????????? 980Kpa

?

溫度范圍

?

?????????????????????????? 5-45℃(41-113℉)

?

輸入電源

?

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 180mA

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 200mA

功率

3.1W max

3.5W max

輸入信號

0-5 VDC

輸出型號

0-5 VDC

控制閥形式

常開或常閉電磁閥

密封件

金屬密封

材質

316L,316,PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠)

標準接口

1/4"VCR和Swagelok兼容

3/8"VCR,1/4"VCR

重量

1.0KG

2.7KG

#1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1%

#2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-***

#3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為147-296Kpa

4

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