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Aera質量流量控制器

FC-7800質量流量控制器

產品分類:Aera質量流量控制器

產品介紹

模擬金屬密封;
流量范圍:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% FS ;
最大進氣壓力:140 psi(981 kPa)
美國Aera FC-7700系列質量流量計

優點:
高性價比
響應速度快:小于2秒
無與倫比的可靠性:使用一年以上,零點漂移小于滿量程的0.5%
易于集成:標準接頭和尺寸
出眾的效果:高品質膜層與蝕刻特性
 
特性
非金屬密封
VCR連接
量程范圍從10SCCM到150SLM
常閉或常開式電磁閥
允許最大清洗流量:高達最大校準值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
 
FC-7700氣體質量流量計的詳細資料:
Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列產品是實踐驗證的適用多種應用的場合的標準產品,該流量計采用非金屬密封,流量控制精確,性價比高。該產品專為從業于半導體、平板顯示、數據存儲、工業真空和工業鍍膜市場的工藝和設備工程師設計,同時,該系列產品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體應用領域表現出良好的可靠性和優異的性能。
性價比高:
FC-7700系列產品專為那些要求頂極性能,但不要求具有耐腐蝕性或高漏率要求的應用而定制,不僅性價比好,而且控制精度非常高。
響應速度快:
FC-7700系列產品采用最新技術設計,工作性能遠遠優于同類質量流量控制器MFC.其先進之處包括:采用了一種敏感性強、響應速度快的小直徑傳感器。另外,與采用低速熱敏閥的同類產品相比,FC-7700系列產品采用常開或常閉式電磁閥,具有較快的響應速度。提高響應速度之后,避免了出現過沖,達到設定點的時間不到2秒--在所有帶標準電磁閥的質量流量控制器產品中是最快的。
無與倫比的可靠性:
由高質量的電子組件和采用耐用、少元器件的設計理念,這使它可以經受強射頻場的干擾,滿足其它運轉要求,并具有同類產品中最佳的零點漂移穩定性--使用超過一年,零點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上產品中,僅有不到0.5%的產品在出貨一年內返修。
易于集成:
替換其它品牌,即可輕松獲得Area質量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優勢,且不會遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產品帶有標準電氣接頭并具有臨界尺寸,可輕松裝入現有的系統。
出眾的效果:
FC-7700系列質量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的一致性,同時還有高度的可重復性。
型號參數:

 

 

類別
FC-77007700C7700CD7700CU
FC-77107710C7710CD7710CU
FC-77207720C7720CD
滿量程范圍
10sccm5slm
620slm
35150slm
2050slm
響應時間
到達設定點±2%所需時間<2
到達設定點±2%所需時間<3
精度
滿量程±1%范圍內
滿量程±2%范圍內
線性度
滿量程±0.5%范圍內
滿量程±0.5%范圍內
滿量程±1%范圍內
滿量程±1%范圍內
重復精度
滿量程±0.2%范圍內
漏率
最大值1×10-6 atm-cc/()
控制范圍
滿量程的5100%
壓差
740 psi
1040 psi(5172069)
2140 psi(10862069)
(3622069)
1440 psi(7242069)
正常工作壓力
50 psi(2586)
最大入口壓力
最大值150 psi(7740)
溫度范圍
545
 注:可根據不同客戶的需求,選擇全金屬密封的FC-7800CD系列,數字型的FC-D770系列,全金屬密封及數字型的FC-D980系列。
 
FC-7800_模擬金屬密封質量流量控制器
模擬金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% FS ; 最大進氣壓力:140 psi(981 kPa)
 
FC-D980_數字式金屬密封質量流量控制器
數字式金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% of set point(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作壓力:70 psig(490 kPag)

 

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